RERAM DEVICE AND PRODUCTION METHOD THEREFOR
Abstract (de)
Eine ReRAM-Vorrichtung (1) aufweisend ein Substrat (2); eine Passivierungsstruktur (3) zumindest auf dem Substrat (2); eine in der Passivierungsstruktur (3) eingebettete Elektrode (4), die in Form einer Finne ausgebildet ist und ein erstes Metall aufweist, und sich parallel zu einer Ebene des Substrats (2) erstreckt; eine Gegenelektrode (5), die in Form einer Schicht ausgebildet ist und ein zweites Metall aufweist, und sich parallel zu der Ebene des Substrats (2) erstreckt; und einen Metalloxidteil (6), der das erste Metall in oxidierter Form aufweist und sich zwischen der Elektrode (4) und der Gegenelektrode (5) befindet, wobei das Metalloxidteil (6), die Elektrode (4) und die Gegenelektrode (5) zusammen eine Speicherzelle der ReRAM-Vorrichtung (1) ausbilden und ein resistives Schalten der ReRAM-Vorrichtung (1) ermöglichen; wobei die Passivierungsstruktur (3) die Elektrode (4) mit der Gegenelektrode (5) verbindet, und angeordnet ist, eine Sauerstoffdiffusion bezogen auf den Metalloxidteil (6) betriebsunabhängig zu blockieren.
Inventors 3
- Pascal Stasner Aachen author as filed: Stasner, Pascal
- Dirk J. Wouters Aachen author as filed: Wouters, Dirk
- Waser, Rainer
Inventors are linked to an Aachen author when surname and first name match exactly one author.
Applicants
- Forschungszentrum Jülich GmbH
- Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule (RWTH) Aachen, Körperschaft des öffentlichen Rechts RWTH Aachen University
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No literature citations.